Nchịkọta nke ndị na-eguzogide foto
Photoresist, nke a makwaara dị ka photoresist, na-ezo aka na ihe dị gịrịgịrị nke ihe na-agbaze agbaze na-agbanwe mgbe e tinyere ya na ọkụ UV, ọkụ elektrọn, ọkụ ion, ọkụ X-ray, ma ọ bụ radieshon ndị ọzọ.
Ihe mejupụtara ya bụ resin, photoinitiator, ihe mgbaze, monomer, na ihe mgbakwunye ndị ọzọ (lee Tebụl 1). Resin photoresist na photoinitiator bụ ihe ndị kacha mkpa na-emetụta arụmọrụ photoresist. A na-eji ya dị ka ihe mkpuchi mgbochi corrosion n'oge usoro photolithography.
Mgbe ị na-ahazi elu semiconductor, iji fotoresist nke a họọrọ nke ọma nwere ike ịmepụta onyonyo achọrọ n'elu.
Tebụl 1.
| Ihe ndị na-egbochi foto | Arụmọrụ |
| Ihe mgbaze | Ọ na-eme ka fotoresist dị mmiri mmiri ma na-agbanwe agbanwe, ọ naghịkwa enwe mmetụta ọ bụla na ihe ndị dị na fotoresist. |
| Onye na-emepụta foto | A makwaara ya dị ka ihe na-eme ka ihe na-agbanwe agbanwe ma ọ bụ ihe na-eme ka ihe na-agbanwe agbanwe, ọ bụkwa ihe na-eme ka ihe na-agbanwe agbanwe dị na ihe na-eme ka ihe na-agbanwe agbanwe. Ọ bụ ụdị ihe mejupụtara nke nwere ike ịgbaze ka ọ bụrụ ihe na-agbanwe agbanwe ma ọ bụ cations ma malite mmeghachi omume njikọ kemịkalụ na monomers mgbe ọ nara ultraviolet ma ọ bụ ike ìhè a na-ahụ anya nke ogologo oge ụfọdụ. |
| Resin | Ọ bụ polima ndị na-adịghị arụ ọrụ, ọ na-arụkwa ọrụ dị ka ihe njikọta iji jide ihe dị iche iche dị na photoresist ọnụ, na-enye photoresist ihe onwunwe ya na kemịkalụ. |
| Monomer | A makwaara ya dị ka ihe ndị na-agbaze ihe na-arụ ọrụ, ha bụ obere molekul nwere otu ọrụ polymerizable ma bụrụ obere molekul dị arọ nke nwere ike isonye na mmeghachi omume polymerization iji mepụta resins dị arọ molekul dị elu. |
| Ihe mgbakwunye | A na-eji ya achịkwa ihe ndị metụtara kemịkalụ nke ndị na-eguzogide ọgwụ foto. |
A na-ekewa ndị na-eguzogide foto n'ime ụdị abụọ dị mkpa dabere na onyonyo ha na-emepụta: nke dị mma na nke na-adịghị mma. N'oge usoro photoresist, mgbe e kpughepụrụ ma mepụta ya, a na-agbaze akụkụ ndị a na-ekpughepụ nke mkpuchi ahụ, na-ahapụ akụkụ ndị a na-ekpugheghị. A na-ewere mkpuchi a dị ka nke na-eguzogide foto dị mma. Ọ bụrụ na akụkụ ndị a na-ekpughepụ ka a na-agbaze akụkụ ndị a na-ekpugheghị, a na-ewere mkpuchi ahụ dị ka nke na-eguzogide foto na-adịghị mma. Dabere na isi iyi ìhè na isi iyi radieshon, a na-ekewa ndị na-eguzogide foto n'ime ụdị UV (gụnyere ndị na-eguzogide foto UV dị mma na nke na-adịghị mma), ndị na-eguzogide foto UV miri emi (DUV), ndị na-eguzogide foto X-ray, ndị na-eguzogide foto electron, na ndị na-eguzogide foto ion.
A na-ejikarị Photoresist eme ihe n'ịhazi ụkpụrụ ndị dị mma na panel ngosi, sekit agbakwunyere, na ngwaọrụ semiconductor dị iche iche. Teknụzụ mmepụta dị n'azụ photoresist dị mgbagwoju anya, yana ọtụtụ ụdị ngwaahịa na nkọwapụta dị iche iche. Mmepụta sekit agbakwunyere nke ụlọ ọrụ eletrọnịkị na-etinye iwu siri ike na photoresist ejiri.
Ever Ray, onye nrụpụta ihe nke nwere ahụmịhe afọ iri abụọ nke ọkachamara n'ịmepụta na imepụta resins a na-agwọ ọrịa, nwere ikike mmepụta kwa afọ nke tọn 20,000, usoro ngwaahịa zuru oke, yana ikike ịhazi ngwaahịa. Na photoresist, Ever Ray nwere resin 17501 dị ka ihe bụ isi.
